pulsed laser deposition PLD the most flexible PVD. Bei der gepulsten Laserablation (pulsed laser deposition, PLD) wird hochenergetisches und kurzwelliges (UV) Licht eingesetzt, um das Ausgangsmaterial (Feststofftarget) in die Gasphase und darüber in Form einer Schicht auf das zu beschichtende Werkstück (Substrat) zu bringen. Damit zählt die Laserablation auch zur Klasse der physikalischen Gasphasen-Beschichtungsverfahren (PVD-Verfahren). Der Einsatz von Lasern in der Beschichtungstechnik bietet dabei eine Vielzahl von Vorteilen gegenüber den klassischen PVD-Verfahren (Verdampfen, Sputtern) und profitiert auch von der Weiterentwicklung der UV-Lasertechnologie in den vergangenen 10 Jahren. Dadurch stehen mittlerweile hohe Laserenergien (bis 1 J/Puls) und Repetitionsraten (bis 300 Hz) für eine Schichtabscheidung in Entwicklung und Produktion zur Verfügung. Eigenschaften PLD höchste Flexibilität bei Beschichtungsmaterialien Deposition komplexer Materialien möglich geringe Temperaturen ab Raumtemperatur Multischichtsysteme möglich hohe Targetausbeute kostengünstige Targets Materialabtrag abseits thermodynamischen Gleichgewichts hohe Prozessreinheit umweltfreundliches Verfahren Reaktivgas und Inertgas Prozesse PLD Beschichtungsmaterialien /*! elementor - v3.16.0 - 13-09-2023 */ .elementor-accordion{text-align:left}.elementor-accordion .elementor-accordion-item{border:1px solid #d5d8dc}.elementor-accordion .elementor-accordion-item+.elementor-accordion-item{border-top:none}.elementor-accordion .elementor-tab-title{margin:0;padding:15px 20px;font-weight:700;line-height:1;cursor:pointer;outline:none}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon{display:inline-block;width:1.5em}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon svg{width:1em;height:1em}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon.elementor-accordion-icon-right{float:right;text-align:right}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon.elementor-accordion-icon-left{float:left;text-align:left}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon .elementor-accordion-icon-closed{display:block}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon .elementor-accordion-icon-opened,.elementor-accordion .elementor-tab-title.elementor-active .elementor-accordion-icon-closed{display:none}.elementor-accordion .elementor-tab-title.elementor-active .elementor-accordion-icon-opened{display:block}.elementor-accordion .elementor-tab-content{display:none;padding:15px 20px;border-top:1px solid #d5d8dc}@media (max-width:767px){.elementor-accordion .elementor-tab-title{padding:12px 15px}.elementor-accordion .elementor-tab-title .elementor-accordion-icon{width:1.2em}.elementor-accordion .elementor-tab-content{padding:7px 15px}}.e-con-inner>.elementor-widget-accordion,.e-con>.elementor-widget-accordion{width:var(--container-widget-width);--flex-grow:var(--container-widget-flex-grow)} Oxide HTSLFerro-/Piezo-/DielektrikaCMR-MaterialienOptische/ Elektrooptische MaterialienBiokompatible Materialien Carbide / Nitride Kohlenstoffschichten Hartstoffschichtentribologische Schichten Nanokomposite Polymere Fluor-Polymerehochdichte Polymere Ferrite GranateSpinell Halbleiter III-V HalbleiterII-VI Halbleiter Metalle EdelmetalleMetalle / Legierungen Der Beitrag laserdeposition erschien zuerst auf AxynTeC Dünnschichttechnik GmbH.